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据Semiconductor Reporter报道：Nikon Corp与Brion TechnologiesInc．联合宣布，两家公司将基于Nikon的光刻设备和Brion的计算光刻工具建立合作，目标扩大其DFM（design—for—manufacturing）能力，将联合进行系统优化。
Nikon与Brion将合作优化DFM能力
【摘 要】
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据Semiconductor Reporter报道：Nikon Corp与Brion TechnologiesInc．联合宣布，两家公司将基于Nikon的光刻设备和Brion的计算光刻工具建立合作，目标扩大其DFM（design—for—manufac
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年10期
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