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【摘 要】
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With the progress of ULS1 technology, materials with low dielectric constant are required to replace SiO2 film as the interlayer to scale down the interconnecti
【机 构】
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FudanUniv
【出 处】
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材料科学技术：英文版
【发表日期】
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2001年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金，教育部大学教师基金
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