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提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法.在有限元分析的基础上,计算出器件在静电力作用下三维变形曲面结果,并模拟了透过光谱特性.
微机构可调谐阵列滤光片的有限元分析
【摘 要】
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提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法.在有限元分析的基础上,计算出器件在静电力作用下三维变形曲面结果,并模拟了透过光谱特
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027,浙江大学微系统研究中心,杭州,310027
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2004年期
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