【摘 要】
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场发射扫描电镜是表征材料尺寸和形貌的最佳仪器设备,对不同导电性能样品观测条件的选择优化,具有重要的研究价值和实际意义。本文以不同导电性材料为研究对象,通过改变测试
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场发射扫描电镜是表征材料尺寸和形貌的最佳仪器设备,对不同导电性能样品观测条件的选择优化,具有重要的研究价值和实际意义。本文以不同导电性材料为研究对象,通过改变测试条件,比较图片的质量,发现对导电性稍差、荷电影响较小的样品,合理选择分辨率要求的加速电压,配合工作距离即可获得理想图片;对非导电、热稳定的无机材料,可在此基础上喷金、改变上下探头或照射电流也能实现;对绝缘、热不稳定的材料,需要改变工作模式、检测信号和拍摄方式才能减轻荷电和样品污染,本项研究为不同导电性材料的扫描电镜测试条件的选择优化提供了基础依据
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