制取硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ghosty
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本文着重讨论沉积硬质耐磨涂层的物理气相沉积方法、涂层结构和性能的关系及硬质涂层的各种应用。 This article focuses on physical vapor deposition of hard-wearing coatings, the relationship between coating structure and properties, and various applications of hard coatings.
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