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采用电子铺助热灯丝化学气相沉积(EA-CA)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,气压对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
气压对金刚石膜生长的影响
【摘 要】
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采用电子铺助热灯丝化学气相沉积(EA-CA)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,气压对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman,SEM等手段对
【机 构】
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长春大学理学院,长春大学特殊教育学院,长春大学理学院吉林长春130022,吉林长春130022
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2007年10期
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