硅微机械平面电感的衬底效应

• 作 者: 董颖 刘泽文 丁勇
• 机 构: 清华大学微电子学研究所
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2003年B05期
• 关键词: 微机械 电感 Q值 硅衬底

提出了一种品质因数(Q)的计算方法，分析了对于平面螺旋电感Q值产生决定性影响的各种因素。在微机械电感传统模型的基础上对涡流效应产生的寄生电阻和有损衬底电容进行了细致的研究，并且得到了理论结果。研究结果表明，Q值的大小与几何参数和工作频率均有关，通过理论分析和计算，可以得到结构优化的方法。