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探讨三氯氢硅合成尾气回收方法,降低三氯氢硅生产成本,利于环境保护。
三氯氢硅合成尾气回收方法探讨
【摘 要】
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探讨三氯氢硅合成尾气回收方法,降低三氯氢硅生产成本,利于环境保护。
【机 构】
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华陆工程科技有限责任公司
【出 处】
：
化工设计
【发表日期】
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2012年02期
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