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自控成本（ＣＯＯ）分析法，作为一种对所购设备进行潜在成本一效益平衡评价的工具，已开始为半导体产业界所接受。但是，该方法仅被优化用于传统的大规模硅片制造厂。而且标准的ＣＯＯ分析模型通常应用于单道工序（即，单台设备的替换比较）。本文旨在揭示柔性生产对采用现行ＣＯＯ模型的各种分析方法的影响。同时探讨ＣＯＯ分析方法的延伸，以更好地处理柔性生产环境中的成本效益问题。柔性生产环境可加快生产周期，提高设备的再利