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结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ，利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６，质量分数％）电镀沉积膜的内耗为１０＾－３，利用自行设计的微力／微位 天平法，测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ５７，Ｎｉ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ‘ｓ模量为１．９×１０＾１１Ｎ／ｍ＾２，Ｆｅ－Ｎｉ电镀沉