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装备是集成电路产业的基石，是推动集成电路技术创新的引擎。一方面是随着摩尔定律的继续前行，芯片特征尺寸不断缩小，从微米级到纳米级，现在已经开始向7／5nm进军，新结构（从2D～3D）、新材料（High—K、SOI）不断被应用，新技术层出不穷，从而对对设备提出了更多的需求和更高的挑战。
砥砺奋进中的国产集成电路装备产业
【摘 要】
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装备是集成电路产业的基石，是推动集成电路技术创新的引擎。一方面是随着摩尔定律的继续前行，芯片特征尺寸不断缩小，从微米级到纳米级，现在已经开始向7／5nm进军，新结构（从2D～3D）、新材
【机 构】
：
北方华创科技集团股份有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2017年11期
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