纳米晶粒钛膜中氦注入的剂量保持和释放规律

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在室温~400 ℃范围内,用卢瑟福质子背散射技术测量了100 keV、注入剂量2.2×1018 cm-2的纳米晶粒钛膜中氦的浓度分布、不同温度下的剂量保持及其浓度释放.室温下经210 d后,氦在该纳米晶粒钛膜中的剂量保持达68%,其He-Ti原子比为52.6%;100 ℃下氦的保持剂量为室温下的89.6%,此时的He-Ti原子比为44%;400 ℃下的保持剂量为室温下的32.6%,He-Ti原子比为17.1%.同时观察到了氦的释放随温度上升呈现波浪式的变化特点.从能量稳定性观点初步探讨了纳米晶粒
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