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衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
来源 :华南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:galahad55
【摘 要】
:
采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜
【作 者】
:
邵士运
陈俊芳
赵益冉
冯军勤
高鹏
【机 构】
:
华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,华南师范大学实验中心
【出 处】
:
华南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2012年4期
【关键词】
:
氮化锌薄膜
直流磁控溅射
表面形貌
光学带隙
zinc nitride films DC magnetron sputtering surface morpho
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采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
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