【摘 要】
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日本国际电气公司研制成一台高精度自动曝光机供制备光掩模用。这台原图产生器制作的主掩模尺寸大小是器件尺寸的十倍。这台设备包括一个氙灯、一个变换宽度、长度和角度位
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日本国际电气公司研制成一台高精度自动曝光机供制备光掩模用。这台原图产生器制作的主掩模尺寸大小是器件尺寸的十倍。这台设备包括一个氙灯、一个变换宽度、长度和角度位置的缝隙,X、Y方向的精密工作台,系统控制采用日立公司10台小型计算
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