【摘 要】
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一九八八年我们在LC—2B型中能离子注入机上配置最新研制成果—LY—3A型冷阴极潘宁离子源,并相应地对整机各有关电器、结构部件的改造更新,推出LC—2C新型中能离子注入机。
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一九八八年我们在LC—2B型中能离子注入机上配置最新研制成果—LY—3A型冷阴极潘宁离子源,并相应地对整机各有关电器、结构部件的改造更新,推出LC—2C新型中能离子注入机。该机具有性能价格比好;生产效率高;注入剂量及能量范围宽;整机工作稳定可靠;结构紧凑;真空性能好;操作维护方便等优点。该机目前为国内最先进水平。现正在苏州半导体总厂3英寸,2英寸片生产线上正常运行。整机运行稳定可靠,性能优良。
In 1988, we configured the newly developed LC-2B ion-implanter, L-3A-type cold cathode Penningon ion source, and correspondingly updated and updated all the related electrical and structural components of the complete machine and introduced LC -2C new energy ion implanter. The machine has a good performance-price ratio; high production efficiency; injection dose and energy range; stable and reliable machine work; compact structure; good vacuum performance; easy operation and maintenance. The aircraft is currently the most advanced level. Now in Suzhou Semiconductor Plant 3-inch, 2-inch film production line on the normal operation. Machine running stable and reliable, excellent performance.
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