陶瓷湿度传感器的“阻抗一湿度”特性的研究

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离子型湿度传感器的“阻抗—湿度特性取决于元件本身的微结构,即表面粗糙度与孔径分布。本文提出了理论计算来阐明“阻抗—湿度”特性与孔径分布之间的关系。采用Kejvin等式就能导出一般等式来计算传感器样品在某一相对湿度下的阻抗。我们发现,控制孔径分布,选择元件的固有阻抗和测定凝聚水的导电率是获得对湿度高灵敏度的最重要因素,将计算方法应用到两个传感器元件中:含有大量微孔的MgAl_2O_4和含有少量微孔的MgFe_2O_4。如果采用蒸馏水把传感器元件的溶解的离子析出,那末就能获得理论计算和实验结果的近似一致。 Ion-type humidity sensor “impedance - humidity characteristics depend on the microstructure of the element itself, that is, the surface roughness and pore size distribution.This paper presents a theoretical calculation to clarify the relationship between the” impedance - humidity "characteristics and pore size distribution.Using Kejvin et al You can derive the general equation to calculate the impedance of the sensor sample at a certain relative humidity.We find that controlling the pore size distribution, choosing the intrinsic impedance of the element and determining the conductivity of the coalesced water are the most important factors for achieving high sensitivity to humidity, The calculation method is applied to two sensor elements: MgAl_2O_4 with a large number of micropores and MgFe_2O_4 with a small number of micropores. If the dissolved ions of the sensor element are precipitated with distilled water, an approximate agreement between theoretical calculations and experimental results can be obtained.
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