溶胶-凝胶法制备(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁[1]电薄膜及电性能研究

• 作 者: 赵敏 杨光 顾豪爽
• 机 构: 湖北大学物理学与电子技术学院,湖北,武汉,430062
• 出 处: 湖北大学学报（自然科学版）
• 发表日期: 2000年4期
• 关键词: 溶胶-凝胶 BST薄膜 介电特征 电流-电压特性

研究了一种以水为溶剂的(Ba0.5Sr0.5)TiO3(B ST)源溶液,用Sol-Gel技术制备出BST薄膜,并研究了薄膜的结构和电性能.结果表明,厚度 为160nm,700℃保温1h的(Ba0.5Sr0.5)TiO3薄膜呈现纯钙钛矿结构, 在室温下,介电常数为220,介电损耗为0.047,漏电流密度为8.0×10-8A/cm2.进一步研究发现,随着烧结温度的升高,薄膜的介电常数增高,介电损耗降低.