【摘 要】
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Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法。文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法。通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片
【机 构】
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昆明理工大学光电子新材料研究所,淮阴工学院,昆明贵金属研究所
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Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法。文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法。通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法。
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