Study of nitrogen doping behavior in diamond film

来源 :光电子快报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zengbiao2010
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做氮的钻石电影被 EA-CVD 综合了(电子帮助化学蒸汽免职) 技术。质量和钻石电影的氮杂质状态被 SEM 描绘,分别地击打光谱学, XPS 和 EPR 光谱学。形态学从明确的方面改变到像花椰菜的结构,非结晶的碳增加的内容和质量的结果表演与增加氮流动率落下。在这些电影,而且,氮杂质存在,这能被观察 in the forms of N <SUP>0</SUP>,[N-V ]<SUP>0</SUP> 并且[N-V ]<SUP>&#8722;1
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