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为拓展非晶硅太阳能电池的应用,有必要提高其开路电压。本文讨论氢等离子体处理对P层和非晶硅太阳能电池性能参数的影响。结果表明:用氢等离子体处理P层可以使电池的平均开路电压提高0.0257V,平均填充因子提高0.039,平均能量转换效率提高0.45%,实验中获得的最高开路电压为0.99V。用氢等离子体处理P层可以提高P层的晶相比,使更多的光子被本征层吸收。此外,这种处理工艺与非晶硅太阳能电池的制备工艺相兼容。