【摘 要】
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半导体材料的液相外延生长及晶体生长,都需要恒速降温,以往采用手动调节,既麻烦又难于准确控制。为了改变这种落后面貌,已制成了液相外延用数模式恒速降温仪。仪器采用TTL数
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半导体材料的液相外延生长及晶体生长,都需要恒速降温,以往采用手动调节,既麻烦又难于准确控制。为了改变这种落后面貌,已制成了液相外延用数模式恒速降温仪。仪器采用TTL数字集成电路,是用一套数模转换网络来代替温度控制仪中的设定,按标准时间的节拍,以毫伏为单位,恒速减少温度
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