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利用激光脉冲沉积（ PLD）技术在室温条件下将IZO薄膜生长在塑料衬底上，通过控制生长压强来调节薄膜的电学性质。然后对光电性质最优的薄膜进行了柔性测试，结果显示薄膜的内弯折半径小于9 mm 后电阻会显著增加，对于弯折引起的电学性能的变化进行了初步的讨论。
InZnO 薄膜透明导电的制备及其柔性的表征
【摘 要】
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利用激光脉冲沉积（ PLD）技术在室温条件下将IZO薄膜生长在塑料衬底上，通过控制生长压强来调节薄膜的电学性质。然后对光电性质最优的薄膜进行了柔性测试，结果显示薄膜的内弯折半
【机 构】
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东北师范大学
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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2014年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金（51202026）,吉林省科技发展计划资助项目（201201061,20121802）,高等学校博士学科点专项科研基金（20110043120004）
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