【摘 要】
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一、前言X—Y 精密工件台是电子束曝光机中的重要组成部分。为了研制能刻划微米级线条的电子束曝光机,工件台主要是要解决运动精度。有高精度的运动精度才能保证测量精度。
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一、前言X—Y 精密工件台是电子束曝光机中的重要组成部分。为了研制能刻划微米级线条的电子束曝光机,工件台主要是要解决运动精度。有高精度的运动精度才能保证测量精度。此外在工件台移动时,不能有磁场的变化影响电子束正确偏转。电子束曝光是在真空中进行的,本工件台是专为电子束曝光使
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