低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yilongzhanyuye1

【摘要】

：

研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关.由5 V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100 μm转轴转动,实现开关的状态切换.开关时

【作者】

：

鲍俊峰曹钟慧袁野邹勇卓吴兴坤

【机构】

：

浙江大学光及电磁波研究中心

【出处】

：

光电子．激光

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

微光电子机械系统 MOEMS 光开关电火花加工 EDM 光纤通信开关时间工作原理性能测试 Computer softwareElectric disch

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研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关.由5 V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100 μm转轴转动,实现开关的状态切换.开关时间2 ms,插入损耗＜0.8 dB,具有断电自锁功能.器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术.应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较.

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