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来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用化学气相沉积法在35CrMo钢基表面制备TiC/TiN双层、TiC(CN)/TiN和TiC/Ti(CN)/TiN/Al2O3多层硬质涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、多功能表面力学性能
【作 者】
:
张进
薛屺
李松霞
范萍
【机 构】
:
西南石油大学材料科学与工程学院 成都610500
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2013年7期
【关键词】
:
多层
硬质涂层
摩擦磨损
化学气相沉积
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