基于磁控溅射制备纳米微晶NiOx薄膜的方法

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jeff1986928

【摘要】

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使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜．当溅射参数完全相同时，借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度．冷却基

【作者】

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王怀义刁训刚王武育郝维昌王聪王天民

【机构】

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北京航空航天大学理学院,北京印刷学院基础部,北京有色金属研究总院

【出处】

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材料研究学报

【发表日期】

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2009年4期

【关键词】

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无机非金属材料磁控溅射纳米微晶态电致变色 NiOx薄膜 inorganic non-metallic materials magnetron sputt

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划2007CB936300资助项目.

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使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜．当溅射参数完全相同时，借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度．冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜，且该薄膜的O／Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O／Ni比率．

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