有机/无机热光开关制备及其测试系统研制

• 作 者: 罗倩倩 郑传涛 黄小亮 王希斌 张大明 王一丁
• 机 构: 吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室、电子科学与工程学院
• 出 处: 光子学报
• 发表日期: 2015年7期
• 关键词: 集成光学 光开关 聚合物 热光效应 测试系统 功率计 Integrated optics Optical switch Polymer Thermo-opti
• 基金项目: 国家自然科学基金（Nos.61107021,61177027）、教育部博士学科点专项基金（Nos.20110061120052,20120061130008）、吉林省科技发展计划（No.20130522161JH）和吉林大学面上项目种子基金资助

结合有机聚合物材料和无机SiO2材料,设计一种1×2多模干涉—马赫曾德尔干涉仪热光开关,优化器件参数,并对其性能进行模拟.利用化学气相沉积、光刻等工艺制备热光开关,并对其波导形貌进行表征.为了测试器件性能,采用ARM7处理器和InGaAs光电探测器,设计并研制了一种光开关性能测试系统.该系统主要由低纹波线性供电电源、光电探测器、前置放大器、主放大器、信号调理器、模数转换器、主控制器、显示器等构成.采用商用光功率计对该测试系统进行标定,其零点漂移小于0.5dBm.在光开关电极上施加不同的直流驱动电