【摘 要】
:
在硅器件制造中,用电子束辐照代替扩金等工艺以控制少子寿命,近年来引起了人们很大的兴趣.十几年来美国西屋、G.E.公司发表了很多有关高能加速电子辐照硅功率器件以控制少子
【机 构】
:
南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系
论文部分内容阅读
在硅器件制造中,用电子束辐照代替扩金等工艺以控制少子寿命,近年来引起了人们很大的兴趣.十几年来美国西屋、G.E.公司发表了很多有关高能加速电子辐照硅功率器件以控制少子寿命的文章.我国自1980年以来,也有一些高校、研究所和工厂对能量如1.3MeV和3~5MeV的电子辐照进行了研究,并初步用于某些硅功率器件生产线上.全面衡量各参数,12MeV电子辐照比低能电子或Co-γ辐照更有利于器件全面参数的最佳化.特别对于快速
In silicon device manufacturing, the use of electron beam irradiation instead of gold dimming and other processes to control the life of young children has aroused great interest in recent years. Westinghouse, GE for more than a decade has published a lot about the high-energy accelerated electron irradiation silicon power Devices to control the life of young children.China since 1980, some universities, institutes and factories on the energy such as 1.3MeV and 3 ~ 5MeV electron irradiation was studied and initially used in some silicon power device production line With a comprehensive measurement of each parameter, 12 MeV electron irradiation is more conducive to optimizing the overall parameters of the device than the low-energy electron or Co-γ radiation, especially for fast
其他文献
生活中处处有语文,也处处用到语文。作文教学就是把学生带向生活,融入生活,在生活中学语文,在学语文中感悟生活真谛,作文教学中只有培养学生的口语表达能力,才能优化教学过程
本文介绍了采用激光透射法测定铬掩模湿式腐蚀终点的装置和性能,它具有结构简单、检测性能良好,实用性强等特点,保证了铬掩模图形的腐蚀质量和一致性.
In this paper, the d
如果说,企业管理现代化这个命题是中国特有的,那么,以“三评”这种“三位一体”的形式推进石油企业管理现代化,则是中国石油企业协会所特有的。20年前,当国家有关部门和原中
宗教工作作为党和国家群众工作与社会工作的重要内容,具有长期性、群众性和特殊的复杂性,因此,做好宗教工作,对于构建社会主义和谐社会具有十分重要的意义。当前,在构建和谐
The experimental monoclinic CF parameter (CFP) sets obtained by Duan et al. (Phys. Rev. B 75 (2007) 195130) for Er3+ and Nd3+ ions in YAlO3 were reanalyzed. The
为了分析成型方法对开级配大粒径沥青碎石(OLSM)技术性能的影响,采用马歇尔试验、劈裂试验和贯入试验等方法,研究成型方法对OLSM空隙率、集料级配、力学强度和回弹模量的影响
国务院发展研究中心产业发展研究部副部长石耀东认为合资企业是自主创新的重要组成部分,在国家的各项创新计划中,应当给予以跨国公司“国民待遇”。根据中国汽车工业协会提供
Vehicle bumps at a bridge approach caused by the differential settlement between a bridge and an adjacent backfill embankment are one of the most difficult prob
二战后美国的职业教育:发展历程、经验及启示●王保星一、二战后美国职业教育的发展历程(一)40、50年代职业教育的恢复与发展第二次世界大战结束后,由战争所直接导致的两大社会问题便成为美国社会各界人士注目的焦点:一是退役军人的就学与就业问题;二是广大青年...
(一)简要工作原理许多红外探测器都必须冷却到很低的温度才能有高的探测率、大的信噪比、长的响应波长和短的响应时间。该金属杜瓦瓶就是为了满足红外探测器有效的工作而研