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采用固体吸附热脱附气相色谱质谱法对半导体行业废气中的VOCS进行了测定,每个分析物质的方法捡出限0.02mg/m3,回收率73%~123%,线性范围宽。
固体吸附热脱附气相色谱质谱法测定半导体行业废气中的VOC_S
【摘 要】
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采用固体吸附热脱附气相色谱质谱法对半导体行业废气中的VOCS进行了测定,每个分析物质的方法捡出限0.02mg/m3,回收率73%~123%,线性范围宽。
【机 构】
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上海市浦东新区环境保护监测站
【出 处】
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中国环境监测
【发表日期】
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2009年04期
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期刊
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