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针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法．此方法采用前面批次的参数估计机台漂移，机台干扰由前馈和未来批次的反馈控制综合决定．得到了系统输出和其渐进期望方差误差，并证明了渐进期望方差误差与不同产品的间隔无关．仿真结果表明这种方法是有效的．
混合产品的合成前馈／反馈批间控制方法
【摘 要】
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针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法．此方法采用前面批次的参数估计机台漂移，机台干扰由前馈和未来批次的反馈控制综合决定．得到了系统输出和其渐进期望
【机 构】
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华中科技大学控制科学与工程系,华中科技大学CAD中心
【出 处】
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华中科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年6期
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