【摘 要】
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松下宣布开发出在Graphite(石墨)底板上生长高质量GaN结晶薄膜的技术,并大致探明了其生长原理。这是松下在长崎大学举办的第71届应用物理学会学术演讲会上公布的。GaN以往一
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松下宣布开发出在Graphite(石墨)底板上生长高质量GaN结晶薄膜的技术,并大致探明了其生长原理。这是松下在长崎大学举办的第71届应用物理学会学术演讲会上公布的。GaN以往一般是在蓝宝石底板或者GaN底板上外延生长。但是蓝宝石底板和GaN底板的价格较高,而且1枚底板的面积有限。
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