【摘 要】
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在大直径的卡夫曼离子源中,作为离子光学的栅网,因热形变将严重影响束流品质,尤其是使束流密度均匀性分布变差。本文将介绍一种束流匹配技术,使其栅网热形变对束流密度分布均
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在大直径的卡夫曼离子源中,作为离子光学的栅网,因热形变将严重影响束流品质,尤其是使束流密度均匀性分布变差。本文将介绍一种束流匹配技术,使其栅网热形变对束流密度分布均匀性影响减小到最低程度,并改善了束流密度分布的均匀性。
In a large-diameter Kav-Man ion source, as a grid of ion optics, the thermal deformation will seriously affect the quality of the beam, in particular, the uniformity of the beam current density. This paper presents a technique of beam matching that minimizes the effects of grid thermal deformation on uniformity of beam density distribution and improves the uniformity of beam density distribution.
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