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多晶硅CVD还原炉是西门子法多晶硅工业生产的重要设备.利用ANSYS有限元分析软件,对多晶硅生产中18对棒的CVD还原炉内气氛进行稳态热流场的模拟并进行分析.根据计算结果,得出混合气体在稳定工作状态下的温度和温度梯度的分布情况.
基于ANSYS的多晶硅还原炉热流场的数值模拟
【摘 要】
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多晶硅CVD还原炉是西门子法多晶硅工业生产的重要设备.利用ANSYS有限元分析软件,对多晶硅生产中18对棒的CVD还原炉内气氛进行稳态热流场的模拟并进行分析.根据计算结果,得出
【机 构】
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陕西天宏硅材料有限责任公司,陕西咸阳,712038
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2015年23期
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