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期刊论文
Langmuir Probe Measurements of an Expanding Argon Plasma
Langmuir Probe Measurements of an Expanding Argon Plasma
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yesw04
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
CAO Xiaogang
XIA Yuxi
CHEN Bingzhou
TIAN Shuping
WANG Chunling
YANG Dangxiao
XUE Xiaoyan
【机 构】
:
Key Laboratory of Radiation Physics and Technology,Ministry of Education,Institute of Nuclear Scienc
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2015年1期
【关键词】
:
PECVD
argon plasma
electron temperature
electron density
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本文通过对荣华二采区10<
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