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An Investigation on Efficient Acoustic Energy Reflection of Flexible Film Bulk Acoustic Resonators
【机 构】
：
StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments（TianjinUniversity）
【出 处】
：
纳米技术与精密工程（英文）
【发表日期】
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2018年2期
【基金项目】
：
Tis work was supported by National Natural Science Foundation of China （Grant No. 51375341）, the National High Technology Research and Development Program of China （＂863＂ Program, Grant No. 2015AA0426
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