用化学气相沉积（CVD）法制备硫化锌（ZnS）体块材料中晶体缺陷和生长工艺的研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wbgbg

【摘要】

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本文报道了用化学气相沉积 (CVD)法制备高质量红外光学体块材料硫化锌 (ZnS)的制备工艺 ,研究了晶体缺陷对其光学性能的影响。XRD ,XEM及IR表明 ,采用优化的沉积工艺和热等静

【作者】

：

闫泽武王和明蔡以超杨耀源东艳苹范志达

【机构】

：

中非人工晶体研究院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2002年02期

【关键词】

：

化学气相沉积法硫化锌缺陷热等静压红外透过率

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本文报道了用化学气相沉积 (CVD)法制备高质量红外光学体块材料硫化锌 (ZnS)的制备工艺 ,研究了晶体缺陷对其光学性能的影响。XRD ,XEM及IR表明 ,采用优化的沉积工艺和热等静压后处理 ,减少晶体中杂质、微孔、六方结构ZnS及Zn H键的形成 ,使生长的CVDZnS具有高的红外透过率 ,提高了材料的光学品质

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