【摘 要】
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为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了“笼网等离子体浸没离子沉积技术”.采用这种技术,本次实验研究了乙炔
【机 构】
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哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨150001佳木斯大学材料科学与工程学院 佳木斯154007;哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨150001;佳木斯大学材料科学与工程
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为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了“笼网等离子体浸没离子沉积技术”.采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空心阴极放电动力学的影响.结果表明:在单个脉冲辉光放电过程中存在自辉光和空心阴极两种放电模式.工艺参数的影响表现为,乙炔气压由2.5升高到8Pa,笼网放电击穿电压由1100降为620V;当脉冲电压从900升高到1400V,对应乙炔流量为200和100 mL/min时,工作气压分别下降1.4和3.9 Pa;提高脉冲电压或氩气分压,笼形空心阴极辉光增强,笼网电流增大,在p(C2H2)∶p(Ar)为1∶4时有最高值32A.
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