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分析了AlGaAs/GaAsHBT的原理和材料结构,详细介绍了AlGaAs/GaAsHBT的器件结构及工艺流程,并对两方面进行了优化,研制出了特性较好的AlGaAs/GaAsHBT,其电流放大系数达到180,是目前国内报道的最高水平;开启电压小于0.3V.
AlGaAs/GaAsHBT的设计与研制
【摘 要】
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分析了AlGaAs/GaAsHBT的原理和材料结构,详细介绍了AlGaAs/GaAsHBT的器件结构及工艺流程,并对两方面进行了优化,研制出了特性较好的AlGaAs/GaAsHBT,其电流放大系数达到180,是
【机 构】
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天津工业大学,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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河北工业大学学报
【发表日期】
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2005年06期
【基金项目】
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天津市高等学校科技发展基金资助(20020711);天津市应用基础研究重点项目资助(043800811)
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