【摘 要】
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干涉显微镜是采用光波干涉原理检查工件表面粗糙度的仪器。用一块平面反射镜作参考镜,被测零件表面作测量镜,利用迈克尔逊干涉仪原理,使其产生干涉条纹,由于零件表面的高低
【机 构】
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黑龙江省计量检定测试所,黑龙江省计量检定测试所,黑龙江省计量检定测试所,
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干涉显微镜是采用光波干涉原理检查工件表面粗糙度的仪器。用一块平面反射镜作参考镜,被测零件表面作测量镜,利用迈克尔逊干涉仪原理,使其产生干涉条纹,由于零件表面的高低不平使条纹弯曲,通过对条纹弯曲量的测量,可以测量R_8=0.05-0.8mm的表面粗糙度值。
Interference microscope is the use of light wave interference principle to check the surface roughness of the instrument. Using a flat mirror as a reference mirror, measuring the surface of the part as a measuring mirror, the use of Michelson interferometer principle, to produce interference fringes, the uneven surface of the part so that the stripes bend, by measuring the amount of fringe bending, you can measure R_8 = surface roughness of 0.05-0.8 mm.
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