【摘 要】
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以高纯AlCl3和Li3N为反应原料,NaCl和KCl为混合熔盐,使用微波熔盐沉积法在700℃制备出AlN纳米晶。利用XRD、SEM、EDS等对纳米晶的物相、形貌进行了定性和定量表征,并使用PL测
【机 构】
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西南民族大学电气信息工程学院,南昌航空大学材料科学与工程学院
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以高纯AlCl3和Li3N为反应原料,NaCl和KCl为混合熔盐,使用微波熔盐沉积法在700℃制备出AlN纳米晶。利用XRD、SEM、EDS等对纳米晶的物相、形貌进行了定性和定量表征,并使用PL测试了材料的光学性质,分析了主要缺陷类型。XRD测试结果表明,实验获得产物为六方纤锌矿结构的AlN。使用Scherrer公式估算了AlN产物的晶粒平均粒度大小约为35.6 nm,表明所得确为AlN纳米晶。SEM观测到的纳米晶形貌为方形,分布均匀且晶粒形状几近,平均粒度约为35 nm。EDS测试结果显示AlN纳米晶中
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