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本文对在硅微尖FEA上制备铌化合物薄膜，并以该类膜改进硅微尖的场发射性能做了说明。
具有铌化合物薄膜硅微尘FEA的场发射性能
【摘 要】
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本文对在硅微尖FEA上制备铌化合物薄膜，并以该类膜改进硅微尖的场发射性能做了说明。
【机 构】
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华东电子集团公司
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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2002年2期
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