【摘 要】
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以纯铁和 38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果 ,并给出了气体成分及配比、时间、温度、偏压等工艺参数对氮化结果的影响。指出在 0 1Pa的工作气
【机 构】
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中国科学院结构分析开放实验室!合肥230026,中国科学技术大学近代物理系!合肥230026
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以纯铁和 38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果 ,并给出了气体成分及配比、时间、温度、偏压等工艺参数对氮化结果的影响。指出在 0 1Pa的工作气压下 ,采用N2 H2混合气体 ,样品温度接近 50 0℃ ,微波功率 2 0 0～ 2 50W ,可在样品表面形成氮化层 ,使样品表面硬度显著提高。改变N2 和H2 比例将改变样品氮化层中ε相和γ′相的比例。样品施加合适的负偏压有利于氮化
The experimental results of microwave plasma nitriding with electron cyclotron resonance were given by taking pure iron and 38CrMoAl as examples. The effects of gas composition, composition ratio, time, temperature and bias voltage on the nitriding results were also given. It is pointed out that N2 N2 gas mixture at a working pressure of 0 1 Pa can form a nitrided layer on the sample surface with the sample temperature approaching 50 0 ℃ and the microwave power of 200 ~ 250W. Changing the N2 and H2 ratios will change the ratio of the ε phase to the γ ’phase in the nitride layer of the sample. The application of a suitable negative bias voltage favors nitridation
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