论文部分内容阅读
简要介绍了GPP二极管工艺制造流程,着重阐述了P-N结钝化玻璃保护覆层制作工艺中V型沟槽的湿法刻蚀工艺,通过溶液温度、溶液流场及晶圆旋转运动控制技术,实现沟槽湿法刻蚀深度、宽度等均匀性,从而保证玻璃覆层的厚度及附着性,提高GPP二极管的性能.
GPP器件关键工艺设备制造技术研究
【摘 要】
：
简要介绍了GPP二极管工艺制造流程,着重阐述了P-N结钝化玻璃保护覆层制作工艺中V型沟槽的湿法刻蚀工艺,通过溶液温度、溶液流场及晶圆旋转运动控制技术,实现沟槽湿法刻蚀深度
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2015年11期
其他文献
天好冷啊,看看捧在手心里的"优乐美",你对奶茶的爱恨情仇是不是又多了一分?请问你那该死的无处安放的胆战心惊到底何时终结?哎!难搞哦!俗话说喝奶茶一时中毒,一直喝一直中毒
主要对长沟河流域山前丘陵以下区域取水方案进行分析计算,进行地下水评价分析,分析了论证地块取水可行性,通过分析该项目取水不会造成地下水位持续下降,取水可行,供水水源可
金秋十月,吃虾蟹才是正经事。那些满身钳刺看上去不好惹的虾兵蟹将,吃起来到底有多爽?要怎样吃才爽?吃是对食物的尊重,吃相即是态度,吃法就是活法.吃东西时,你是手脚并用即刻
煤矿伤亡事件致精神障碍１００例张珍，邵利自１９８５年１０月～１９９５年１０月，我院共收治因煤矿伤亡事件引起的精神障碍病人５２１例（占同期住院病人的５１．６％），现将资料较完整的１００例治疗随访结果分析如下：一般资料：均为男性：年龄
关于坝基抗滑稳定性,对缓倾软弱结构面的研究较多,而关于缓倾硬性结构面的工程实例报道较少。针对某水电站坝基勘察中发现的缓倾角裂隙,利用勘探平洞和钻孔电视录像,分析了缓
对２７９例原发性肝癌患者的家系进行调查对照分析，结果Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级亲属肝癌患病率显著高于对照组，Ｐ＜０．００１。肝硬变患病情况亦然。有阳性家族史研究组３１．１８％，对照组４．４３％，机会比（ＯＲ）是９．８。多元逐步回归分析
【摘要】根据培养愉快识字自能识字的能力与语文学科教学的紧密联系，指出在语文课堂中培养学生的自能识字能力的重要性。结合实践对如何培养学生愉快识字自能识字的能力，笔者谈了几点想法。 【关键词】汉语拼音； 正面引导； 教学形式；识字方法 【中图分类号】G623.2 【文献