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探讨了X射线荧光光谱法（XRF）在大气颗粒物无机元素测试中的应用。研究结果表明,测试时滤膜的有效直径对测试结果无明显影响,选择的测量直径对测试结果有一定影响,测量直径越大,能检测的元素种类越多。分别对某国产空白滤膜和某进口空白滤膜进行多次重复测样,结果国产空白滤膜的空白值总体比进口滤膜的空白值高,两种空白滤膜中Pd和Fe元素的空白值均较高;对颗粒物样品滤膜进行重复测试的相对标准偏差（RSD）在3%~17%。