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【摘 要】
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<正> 近年来,a-Si:H薄膜已引起人们很大的兴趣。这不仅是因为非晶态的固体理论问题需要研究,更主要的是因为非晶硅材料具有诱人的应用前景。 在七十年代以前,人们普遍采用真
【机 构】
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北京联大电子自动化工程学院
【出 处】
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世界电子元器件
【发表日期】
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1997年5期
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