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期刊论文
硅片直接键合技术及应用
硅片直接键合技术及应用
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuejun2004
【摘 要】
:
本文介绍了硅片键合技术和键合界面性能及其在高压功率器件、介质隔离器件等方面的应用。
【作 者】
:
唐国洪
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
硅片直接键合
高压功率器件
介质隔离器件
Silicon Wafer Direct Bonding
High Voltage Power Devices
D
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本文介绍了硅片键合技术和键合界面性能及其在高压功率器件、介质隔离器件等方面的应用。
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