【摘 要】
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本文采用理论计算和软件仿真相结合的方法,利用二维仿真软件ISE对平面外延晶体管的元胞、终端和工艺进行模拟,流片后进行封装测试,结果显示所有参数均达到了国外同类产品的水
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本文采用理论计算和软件仿真相结合的方法,利用二维仿真软件ISE对平面外延晶体管的元胞、终端和工艺进行模拟,流片后进行封装测试,结果显示所有参数均达到了国外同类产品的水平。
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