【摘 要】
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在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下,力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。该研究是利用高灵敏的光学椭偏测量术,同时结
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在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下,力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。该研究是利用高灵敏的光学椭偏测量术,同时结合光谱性能及数字成像技术,具有对复杂二维分布的纳米层构薄膜样品的快速光谱成像定量测量能力。光谱椭
With the aid of the major scientific research equipment development project of the Chinese Academy of Sciences, the Jin Gang research group of the State Key Laboratory of Microgravity of Mechanics successfully developed the “Spectral Ellipsometry Imaging System” and its practical prototypes. The research is based on the use of highly sensitive optical ellipsometry, combined with spectral performance and digital imaging technology, for rapid spectral imaging quantitative measurement of complex two-dimensional nanofilled film samples. Spectral ellipse
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