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介绍了一种物镜透镜间隔非接触式测量系统。适用于平场复消色差物镜等高性能物镜的生产。文中详细叙述了测量原理、结构和精度分析。最大测量误差不超过±2μm。
透镜间隔的高精度在线测量
【摘 要】
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介绍了一种物镜透镜间隔非接触式测量系统。适用于平场复消色差物镜等高性能物镜的生产。文中详细叙述了测量原理、结构和精度分析。最大测量误差不超过±2μm。
【机 构】
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上海光学仪器研究所200093
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1992年3期
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