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【摘 要】
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本文介绍了科学院光电技术研究所研制的我国第一代掩模缺陷(检查)激光修整仪。介绍了掩模缺陷的产生及其修补方法,国外主要激光修补仪产品,掩模缺陷激光修整原理和实验研究,
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所 成都,610209
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1992年04期
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